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    一、SJ6000激光干涉仪概述
    激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。

    SJ6000激光干涉仪产品采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术,实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,采用不同的光学镜组与激光配合,得到不同的干涉信号,然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据,将数据通过计算机进行显示和动态分析。

    SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有高精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。


    SJ6000激光干涉仪特点
    1.测量精度高、速度快,稳定性好
    ①使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
    ②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm
    ③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
    ④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
    ⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
    2. 应用范围广
    ①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
    ②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
    可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
    3.软件界面友好
    ①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
    ②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,方便用户切换测量类型。
    ③向导式操作,流程清晰,符合国内用户的使用习惯。
    4.性价比高
    性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
     

    三、SJ6000激光干涉仪用途
    激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差 修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。
    激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
    激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
    激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。
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