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详细信息
激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一,是工业中具权威的长度测量仪器。它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线在位测量、误差修正和控制。激光干涉仪采用外差干涉测量原理,克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题,具有信号噪声小、抗环境干扰、允许光源多通道复用等诸多优点,使得干涉测长技术能真正用于实际生产。
工作原理
1、激光从激光干涉仪出来在分光镜处分为两束,一束为参考光由固定角锥反射镜反射,另一束为测量光由移动反射镜反射,并与参考光合束,产生干涉;
2、通过干涉环的增减来判断移动的角锥反射镜移动的距离。产品功能
中图SJ6000激光干涉仪可以对机床进行静态测量和动态测量。静态测量可以进行线性,角度,平面度,直线度和垂直度等测量;动态测量可以进行速度、加速度分析,振动分析等。
² 测量方式:单频
² 稳频精度:0.05ppm
² 动态采集频率:50 kHz
² 预热时间:5-10分钟
² 工作温度范围:0~40℃
² 环境温度范围:0~40℃
² 存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
² 空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
² 空气湿度传感器:±6% (0-95%)
² 大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)