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    简介
      激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一是工业中具权威的长度测量仪器。它可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的在线在位测量、误差修正和控制。激光干涉仪采用外差干涉测量原理克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题具有信号噪声小、抗环境干扰、允许光源多通道复用等诸多优点使得干涉测长技术能真正用于实际生产。

    工作原理

    1、激光从激光干涉仪出来在分光镜处分为两束,一束为参考光由固定角锥反射镜反射,另一束为测量光由移动反射镜反射,并与参考光合束,产生干涉;
    2、通过干涉环的增减来判断移动的角锥反射镜移动的距离。
     
    产品功能
    中图SJ6000激光干涉仪可以对机床进行静态测量和动态测量。静态测量可以进行线性,角度,平面度,直线度和垂直度等测量;动态测量可以进行速度、加速度分析,振动分析等。
     
    系统性能
    ²  测量方式:单频
    ²  稳频精度:0.05ppm
    ²  动态采集频率:50 kHz
    ²  预热时间:5-10分钟
    ²  工作温度范围:0~40
    ²  环境温度范围:0~40
    ²  存储温度范围:-20~70

    环境补偿示值误差
    ²  空气温度传感器:±0.2 (0-40),分辨率0.01
    ²  材料温度传感器:±0.1 (0-40),分辨率0.01
    ²  空气湿度传感器:±6% (0-95%)
    ²  大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)
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