光动激光干涉仪精密测量SJ6000中图仪器（chotest）

中图仪器研发生产的SJ6000光动激光干涉仪因为采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，所以可以实现高4m/s的测量速度，以及纳米级分辨率的精密测量，是集光、机、电、计算机等技术于一体的国产激光干涉仪。

SJ6000光动激光干涉仪线性测量
原理：迈克尔逊干涉原理
1、从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；
2、两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；
3、角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。
 
产品参数
产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

线性测量配置
配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。
  应用
SJ6000光动激光干涉仪广泛应用于机床、精密机械设备、三坐标、机器人、自动化设备、线性位移平台、3D打印设备、精密检测仪器等领域的线性测量。